BTO PHASE SHIFTER AND METHOD OF FABRICATION THEREOF
A method for forming a plurality of electro-optic devices includes forming at least one electro-optic layer or waveguide over a first substrate, forming a cladding layer over the at least one electro-optic layer or waveguide, bonding a second substrate over the cladding layer, and removing the first...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | A method for forming a plurality of electro-optic devices includes forming at least one electro-optic layer or waveguide over a first substrate, forming a cladding layer over the at least one electro-optic layer or waveguide, bonding a second substrate over the cladding layer, and removing the first substrate. Embodiments of the present invention are provided in the context of integrated optical systems that include active optical devices that utilize high dielectric constant materials in optical modulators and switches to reduce power consumption during operation.
L'invention concerne un procédé de formation d'une pluralité de dispositifs électro-optiques comprenant la formation d'au moins une couche électro-optique ou d'un guide d'ondes sur un premier substrat, la formation d'une couche de gainage sur la ou les couches électro-optiques ou le guide d'ondes, la liaison d'un second substrat sur la couche de gainage, et le retrait du premier substrat. Des modes de réalisation de la présente invention sont fournis dans le contexte de systèmes optiques intégrés qui comprennent des dispositifs optiques actifs qui utilisent des matériaux à constante diélectrique élevée dans des modulateurs optiques et des commutateurs pour réduire la consommation d'énergie pendant le fonctionnement. |
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