TEMPERATURE CONTROL APPARATUS, TESTING APPARATUS, TEMPERATURE CONTROL METHOD, AND TEMPERATURE CONTROL PROGRAM

Provided is a temperature control device comprising: a placement part that has a placement surface on which is placed a plate-like object to be tested having a plurality of devices formed thereon; a plurality of heaters that are respectively provided to a plurality of zones into which the placement surface is divided, and that each heat a corresponding zone; a device temperature acquisition unit that acquires device temperature data corresponding to a measured temperature value of a testing target device, among the plurality of devices of the object to be tested, which has a probe for operation testing connected thereto; and a temperature control unit that controls at least one heater corresponding to at least one zone in which at least part of the testing target device is placed, and that causes the temperature indicated by the device temperature data to approach a first target temperature. L'invention concerne un dispositif de régulation de température comprenant : une partie de placement qui présente une surface de placement sur laquelle est placé un objet du type plaque devant être testé sur lequel est formée une pluralité de dispositifs ; une pluralité d'éléments chauffants qui sont respectivement disposés sur une pluralité de zones dans lesquelles la surface de placement est divisée, et qui chauffent chacune une zone correspondante ; une unité d'acquisition de température de dispositif qui acquiert des données de température de dispositif correspondant à une valeur de température mesurée d'un dispositif cible de test, parmi la pluralité de dispositifs de l'objet devant être testé, auquel est connectée une sonde pour le test de fonctionnement ; et une unité de régulation de température qui régule au moins un élément chauffant correspondant à au moins une zone dans laquelle au moins une partie du dispositif cible de test est placée, et qui amène la température indiquée par les données de température de dispositif à s'approcher d'une première température cible. 複数のデバイスが形成された板状の被試験体を載置する載置面を有する載置部と、載置面を複数のゾーンに区分けしたゾーン毎に設けられ、それぞれが対応するゾーンを加熱する複数のヒータと、被試験体の複数のデバイスのうち、動作試験用のプローブが接続された試験対象デバイスにおける温度計測値に応じたデバイス温度データを取得するデバイス温度取得部と、試験対象デバイスの少なくとも一部が載置された少なくとも１つのゾーンに対応する少なくとも１つのヒータを制御して、デバイス温度データにより示される温度を第１目標温度に近付ける温度制御部とを備える温度制御装置を提供する。