INSPECTION APPARATUS, LINEARLY MOVABLE BEAM DISPLACER, AND METHOD

An inspection apparatus includes a radiation source, an optical system, and a detector. The radiation source is configured to generate a beam of radiation. The optical system is configured to receive and direct the beam along an optical axis and toward a target so as to produce scattered radiation from the target. The optical system includes a beam displacer. The beam displacer includes two or more reflective surfaces. The beam displacer is configured to receive the beam along the optical axis, perform reflections of the beam so as to displace the optical axis of the beam, move linearly in at least a first dimension to shift the displaced optical axis, and preserve an optical property of the beam such that the optical property is invariant to the linear movement. The detector is configured to receive the scattered radiation and to generate a measurement signal based on the scattered radiation. Un appareil d'inspection comprend une source de rayonnement, un système optique et un détecteur. La source de rayonnement est conçue pour générer un faisceau de rayonnement. Le système optique est conçu pour recevoir et diriger le faisceau le long d'un axe optique et vers une cible de façon à produire un rayonnement diffusé à partir de la cible. Le système optique comprend un dispositif de déplacement de faisceau. Le dispositif de déplacement de faisceau comprend au moins deux surfaces réfléchissantes. Le dispositif de déplacement de faisceau est conçu pour recevoir le faisceau le long de l'axe optique, pour effectuer des réflexions du faisceau de façon à déplacer l'axe optique du faisceau, pour se déplacer linéairement dans au moins une première dimension pour décaler l'axe optique déplacé, et pour préserver une propriété optique du faisceau de telle sorte que la propriété optique ne subit aucune variation due au mouvement linéaire. Le détecteur est conçu pour recevoir le rayonnement diffusé et pour générer un signal de mesure sur la base du rayonnement diffusé.