METHOD FOR MACHINING A WORKPIECE

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks (17) in einem Bearbeitungsprozess, bevorzugt in einem fotolithographischen Strukturierungsprozess, wobei das Bearbeiten des Werkstücks (17) ein Temperieren des Werkstücks (17) umfasst. Bei dem Verfahren erfolgt das Temperieren des...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MEISCH, Tobias, SCHUSTER, Fabian, JALICS, Christof
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks (17) in einem Bearbeitungsprozess, bevorzugt in einem fotolithographischen Strukturierungsprozess, wobei das Bearbeiten des Werkstücks (17) ein Temperieren des Werkstücks (17) umfasst. Bei dem Verfahren erfolgt das Temperieren des Werkstücks (17) durch das Durchströmen mindestens eines innerhalb des Werkstücks (17) gebildeten Kanals (26) mit einem Fluid (27). The invention relates to a method for machining a workpiece (17) in a machining process, preferably in a photolithographic structuring process, wherein the machining of the workpiece (17) comprises a control of the temperature of the workpiece (17). In the method, the workpiece (17) is temperature-controlled in that at least one channel (26) formed within the workpiece (17) is flown through by a fluid (27). L'invention concerne un procédé d'usinage d'une pièce (17) dans un processus d'usinage, de préférence dans un processus de structuration photolithographique, l'usinage de la pièce (17) comprenant une régulation de la température de la pièce (17). Dans le procédé, la pièce (17) est régulée en température en ce qu'au moins un canal (26) formé à l'intérieur de la pièce (17) est traversé par un fluide (27).