METHOD AND DEVICE FOR COATING POWDER- OR GRANULAR-FORM PARTICLES

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beschichtung von pulver- oder granulatförmigen Teilchen mittels Gasflusssputtern mit einer als Target dienenden Hohlkathode, die in einem evakuierbaren Behälter zusammen mit einer Anode sowie einem Auffangbehälter angeordnet ist. Um effiziente und leichter handhabbar zu arbeiten wird vorgeschlagen, dass die zu beschichtenden pulver- öder granulatförmigen Teilchen nach dosierter Einführung in eine Einlassöffnung den evakuierten Innenraum der Hohlkathode im freien Fall 0,3 m bis 1 m durchlaufen und in einem unteren Auffangbehälter gesammelt werden. The invention relates to a method and a device for coating powder- or granular-form particles by means of gas flow sputtering with a hollow cathode functioning as the target and arranged in an evacuable container together with an anode and a collection container. In order to work efficiently and with easier handling, according to the invention, after a metered introduction into an inlet opening, the powder- or granular-form particles to be coated pass through the evacuated interior of the hollow cathode in a free fall of 0.3 m to 1 m and are collected in a lower collection container. L'invention concerne un procédé et un dispositif de revêtement de particules sous forme pulvérulente ou granulaire par pulvérisation par flux gazeux, une cathode creuse fonctionnant en tant que cible et disposée dans un contenant pouvant être mis sous vide conjointement avec une anode et un contenant de collecte. Afin de travailler efficacement et avec une manipulation plus facile, selon l'invention, après une introduction dosée dans une ouverture d'entrée, les particules de forme pulvérulente ou granulaire devant être revêtues passent dans l'intérieur mis sous vide de la cathode creuse dans une chute libre de 0,3 m à 1 m et sont collectées dans un contenant de collecte inférieur.