LOW RESISTANCE SWITCHES

In certain aspects, a die includes fins extending in a first direction, gates formed over the fins, wherein the gates extend in a second direction that is perpendicular to the first direction, and source/drain contact layers formed over the fins, wherein the source/drain contact layers extend in the...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HEGGOND, Smeeta, SAMSON, Giby, ROCHE, Conor, MILLS, Roger Lee, WILLIAMS, Thomas Hua-Min, LEE, Hanil, KANSAGRA, Keyurkumar Karsanbhai, SHAIK, Khaja Ahmad
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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