VACUUM PROCESSING DEVICE

The purpose of the present disclosure is to provide a vacuum processing device that switches the rate of pressure variation depending on, e.g., the type of an object to be inspected, thereby making it possible to ensure operation reliability during inspection of a fragile object to be inspected, while preventing a decrease in throughput. The vacuum processing device according to the present disclosure comprises a preliminary exhaust chamber for the transfer of a sample between a sample chamber and the external air. The conductance of a pipe for ventilating the preliminary exhaust chamber is varied in accordance with a parameter corresponding to the fragility of a shape pattern formed on the sample (see FIG. 5). Le but de la présente invention est de fournir un dispositif de traitement sous vide qui commute le taux de variation de pression en fonction, par exemple, du type d'un objet à inspecter, ce qui permet d'assurer une fiabilité de fonctionnement pendant l'inspection d'un objet fragile à inspecter, tout en empêchant une diminution du débit. Le dispositif de traitement sous vide selon la présente invention comprend une chambre d'échappement préliminaire pour le transfert d'un échantillon entre une chambre d'échantillon et l'air externe. La conductance d'un tuyau pour ventiler la chambre d'échappement préliminaire est modifiée en fonction d'un paramètre correspondant à la fragilité d'un motif de forme formé sur l'échantillon (voir figure 5). 本開示は、検査対象の種類などに応じて圧力変動速度を切り替えることにより、スループット低下を防止しつつ、脆い検査対象の検査時の動作信頼性を確保できる真空処理装置を提供することを目的とする。本開示に係る真空処理装置は、試料室と外気との間で試料を授受する予備排気室を備え、前記試料上に形成されている形状パターンの脆弱度に対応するパラメータにしたがって、前記予備排気室を換気する配管のコンダクタンスを変化させる（図５参照）。