HEATING DEVICE FOR A PROJECTION EXPOSURE SYSTEM AND PROJECTION EXPOSURE SYSTEM

Die Erfindung betrifft eine Heizvorrichtung (30), insbesondere für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage (1), zum Heizen von mindestens einem Element, wobei die Heizvorrichtung (30) eine Beleuchtungsoptik mit einem Gehäuse (31) und mindestens drei durch zwei Zwischenräume (34.1-34.5) voneinander get...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ZWEERING, Ralf, LOSER, Niklas, MODESTE, Benjahman, BAERWINKEL, Mark, KUNZMANN, Juergen
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Heizvorrichtung (30), insbesondere für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage (1), zum Heizen von mindestens einem Element, wobei die Heizvorrichtung (30) eine Beleuchtungsoptik mit einem Gehäuse (31) und mindestens drei durch zwei Zwischenräume (34.1-34.5) voneinander getrennte Elemente (33.1-33.6) aufweist und das Gehäuse (31) mindestens zwei Entlüftungskanäle (36.1-36.5) zur Entlüftung der Zwischenräume (34.1-34.5) umfasst. Diese zeichnet sich dadurch aus, dass die mindestens zwei Entlüftungskanäle (36.1-36.5) einen unmittelbar nach außen führenden Auslass (37.1-37.2) aufweisen. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Projektionsbelichtungsanlage (30). The invention relates to a heating device (30), in particular for an EUV projection exposure system (1), for heating at least one element, wherein the heating device (30) has an illumination optics with a housing (31) and at least three elements (33.1-33.6) separated from one another by two intermediate spaces (34.1-34.5), and the housing (31) has at least two ventilation channels (36.1-36.5) for ventilating the intermediate spaces (34.1-34.5). This is characterised in that the at least two ventilation channels (36.1-36.5) have an outlet (37.1-37.2) leading directly outwards. The invention also relates to a projection exposure system (30). L'invention concerne un dispositif de chauffage (30), en particulier pour un système d'exposition par projection EUV (1), destiné à chauffer au moins un élément, le dispositif de chauffage (30) comportant une optique d'éclairage dotée d'un boîtier (31) et d'au moins trois éléments (33.1 - 33.6) séparés les uns des autres par deux espaces intermédiaires (34.1 - 34.5), et le boîtier (31) comportant au moins deux canaux de ventilation (36.1 - 36.5) servant à ventiler les espaces intermédiaires (34.1 - 34.5). Lesdits canaux de ventilation (36.1 - 36.5) sont caractérisés en ce qu'ils comportent une sortie (37.1 - 37.2) qui débouche directement vers l'extérieur. L'invention concerne également un système d'exposition par projection (30).