INSPECTION APPARATUS, MOTORIZED APERTURES, AND METHOD BACKGROUND

A system includes an imaging system, a spatial filter, and a detector. The system is configured to receive a plurality of diffraction orders. The spatial filter is configured to block one or more undesired diffraction orders of the plurality of diffraction orders and to pass one or more desired diffraction orders of the plurality of diffraction orders. The spatial filter includes one or more obscurations having an angular dependent radius that varies azimuthally. The detector is configured to receive and measure an intensity of the one or more desired diffraction orders. The spatial filter is motorized. Un système comprend un système d'imagerie, un filtre spatial et un détecteur. Le système est configuré pour recevoir une pluralité d'ordres de diffraction. Le filtre spatial est conçu pour bloquer un ou plusieurs ordres de diffraction indésirables de la pluralité d'ordres de diffraction et pour faire passer un ou plusieurs ordres de diffraction souhaités de la pluralité d'ordres de diffraction. Le filtre spatial comprend une ou plusieurs zones opaques ayant un rayon dépendant de l'angle qui varie en azimut. Le détecteur est conçu pour recevoir et mesurer une intensité du ou des ordres de diffraction souhaités. Le filtre spatial est motorisé.