AUTOMATED APPLICATION OF DRIFT CORRECTION TO SAMPLE STUDIED UNDER ELECTRON MICROSCOPE

Methods and systems for calibrating a transmission electron microscope are disclosed. A fiducial mark on the sample holder is used to identify known reference points so that a current collection area and a through-hole on the sample holder can be located. A plurality of beam current and beam area measurements are taken, and calibration tables are extrapolated from the measurements for a full range of microscope parameters. The calibration tables are then used to determine electron dose of a sample during an experiment at a given configuration. La divulgation concerne des procédés et des systèmes d'étalonnage d'un microscope électronique à transmission. Une marque de repère sur le porte-échantillon est utilisée pour identifier des points de référence connus de telle sorte qu'une zone de collecte de courant et un trou traversant sur le porte-échantillon peuvent être situés. Une pluralité de mesures de courant de faisceau et de zone de faisceau sont prises, et des tables d'étalonnage sont extrapolées à partir des mesures pour une plage complète de paramètres de microscope. Les tables d'étalonnage sont ensuite utilisées pour déterminer une dose d'électrons d'un échantillon pendant une expérience à une configuration donnée.