DIAGNOSTIC TOOL TO TOOL MATCHING AND COMPARATIVE DRILL-DOWN ANALYSIS METHODS FOR MANUFACTURING EQUIPMENT

A method includes receiving first data associated with measurements taken by a sensor during a first manufacturing procedure of a manufacturing chamber. The method further includes receiving second data. The second data includes reference data associated with the first data. The method further includes providing the first and second data to a comparison model. The method further includes receiving a similarity score from the comparison model, associated with the first and second data. The method further includes performance of a corrective action in view of the similarity score. L'invention concerne un procédé consistant à recevoir des premières données associées à des mesures prises par un capteur pendant une première procédure de fabrication d'une chambre de fabrication. Le procédé consiste en outre à recevoir des secondes données. Les secondes données comprennent des données de référence associées aux premières données. Le procédé consiste de plus à fournir les premières et secondes données à un modèle de comparaison. Le procédé consiste par ailleurs à recevoir un score de similarité à partir du modèle de comparaison, associé aux premières et secondes données. Le procédé consiste également à exécuter une action corrective au vu du score de similarité.