LATERAL TYPE VACUUM EVAPORATION SOURCE AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY USING SAME

Provided is a lateral type vacuum evaporation source comprising a rear heater disposed at a rear surface of a crucible in order to uniformly apply a temperature to an evaporation material inside the crucible. The lateral type vacuum evaporation source comprises: a crucible in which an evaporation ma...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KIM, Hee Cheol, KIM, Gun Woo, JUNG, Jae Hun, HAN, Sung Kwan, CHOI, Yong Hui, EUM, Pu Reun Byul, MOON, Il Kwon
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided is a lateral type vacuum evaporation source comprising a rear heater disposed at a rear surface of a crucible in order to uniformly apply a temperature to an evaporation material inside the crucible. The lateral type vacuum evaporation source comprises: a crucible in which an evaporation material moves, including a rear surface and a side wall elongated from the rear surface in a first direction; a boat disposed in the crucible and accommodating the evaporation material; a side wall heater disposed along the side wall of the crucible; and a rear heater disposed spaced apart from the crucible in the first direction. La présente invention concerne une source d'évaporation sous vide de type latéral comprenant un dispositif de chauffage arrière disposé au niveau d'une surface arrière d'un creuset afin d'appliquer uniformément une température à un matériau d'évaporation à l'intérieur du creuset. La source d'évaporation sous vide de type latéral comprend : un creuset dans lequel un matériau d'évaporation se déplace, comprenant une surface arrière et une paroi latérale allongée depuis la surface arrière dans une première direction ; une nacelle disposée dans le creuset et recevant le matériau d'évaporation ; un dispositif de chauffage de paroi latérale disposé le long de la paroi latérale du creuset ; et un dispositif de chauffage arrière disposé à l'écart du creuset dans la première direction. 도가니 내부의 증착물질에 균일하게 온도를 가해주기 위해, 도가니의 후면에 배치된 후방 히터를 포함하는 측향식 진공 증발원을 제공하는 것이다. 상기 측향식 진공 증발원은 후면과, 상기 후면으로부터 제1 방향으로 길게 연장된 측벽을 포함하고, 증착 물질이 이동하는 도가니, 상기 도가니 내에 배치되고, 상기 증착 물질을 수용하는 보트, 상기 도가니의 측벽을 따라 배치된 측벽 히터, 및 상기 도가니와 상기 제1 방향으로 이격되어 배치된 후방 히터를 포함한다.