PROJECTION LENS, PROJECTION EXPOSURE APPARATUS AND PROJECTION EXPOSURE METHOD

A dioptric projection lens (PO) for imaging a pattern arranged in an object plane (OS) of the projection lens into an image plane (IS) of the projection lens by means of electromagnetic radiation at an operating wavelength in the ultraviolet range of longer than 280 nm comprises a multiplicity of lens elements which are arranged between the object plane (OS) and the image plane (IS) along an optical axis (AX) and which are embodied so that a pattern arranged in the object plane is able to be imaged into the image plane by means of the lens elements, with a stop plane (BE) suitable for attaching an aperture stop (AS) being located between the object plane and the image plane, a chief ray of the imaging intersecting the optical axis (AX) in said stop plane. The projection lens is designed as a large field lens with an object field radius of at least 52 mm and has a structure with an imaging scale of 1:1 which is mirror symmetric with respect to the stop plane (BE). Une lentille de projection dioptrique (PO) servant à imager un motif disposé dans un plan d'objet (OS) de la lentille de projection dans un plan d'image (IS) de la lentille de projection au moyen d'un rayonnement électromagnétique à une longueur d'onde de fonctionnement située dans la plage des rayons ultraviolets de plus de 280 nm comprend une multiplicité d'éléments de lentille qui sont disposés entre le plan d'objet (OS) et le plan d'image (IS) le long d'un axe optique (AX) et qui sont conçus de telle sorte qu'un motif disposé dans le plan d'objet peut être imagé dans le plan d'image au moyen des éléments de lentille, un plan d'arrêt (BE) approprié pour la fixation d'une butée d'ouverture (AS) étant situé entre le plan d'objet et le plan d'image, un rayon principal de l'imagerie croisant l'axe optique (AX) dans ledit plan d'arrêt. La lentille de projection est conçue en tant que lentille à grand champ ayant un rayon de champ d'objet d'au moins 52 mm et elle comporte une structure ayant une échelle d'imagerie de 1 : 1 qui est symétrique en miroir par rapport au plan d'arrêt (BE).