A REACTOR
The present invention relates to a reactor (1) that uses chemical vapor deposition method, in particular, is used for the synthesis of micro and nano-sized materials, growth of nanomaterials, material coating and shaping materials. La présente invention concerne un réacteur (1) qui utilise un procéd...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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