SUPPORT MODULE FOR THE SENSING ELEMENT OF A MICROELECTRONIC MEASURING DEVICE

A support module for a sensing element of a microelectronic measuring device comprises a substrate and a thin cantilever formed as a one-piece element from a glass-ceramic material, one end of which is freely suspended over an opening in the substrate, the other end being attached to the substrate by fusion of the glass in the material of the cantilever with the material of the substrate. Methods for manufacturing a support module envisage filling the opening in the substrate with a solid material capable of a change in aggregate state or a transition to a powdery state, and heating the substrate for the formation of the cantilever as a one-piece element consisting of a glass-ceramic material and for the transition of the solid material in the opening into a different aggregate state or into a powdery state. The invention provides easier manufacturing, increased reliability and a broadening of the operating modes of the module. L'invention concerne un module porteur pour élément sensible d'un dispositif de mesure micro-électronique, comprenant un substrat, et une console fine réalisée sous forme d'un élément entier fait d'un matériau verre-céramique et pendant librement à une extrémité au-dessus d'une ouverture dans le substrat, tandis que l'autre extrémité est connectée au substrat par le fusionnement du verre dans la composition du matériau de la console avec le matériau du substrat. L'invention concerne des procédés de production d'un module porteur, qui consiste à remplir une ouverture dans le substrat avec un matériau solide capable de changer d'état agrégatif ou d'effectuer une transition vers un état poudreux, chauffer le substrat pour former une console sous forme d'un élément entier fait d'un matériau verre-céramique, et faire passer le matériau solide dans l'ouverture à un autre état agrégatif ou à un état poudreux. Il est ainsi possible de simplifier la fabrication, d'augmenter la fiabilité et d'élargir les modes de fonctionnement du module. Несущий модуль для чувствительного элемента микроэлектронного измерительного устройства содержит подложку и тонкую консоль, сформированную в виде цельного элемента из стеклокерамического материала, одним концом свободновисящую над отверстием в подложке, а другим концом закрепленную на подложке посредством сплавления стекла в составе материала консоли с материалом подложки. Способы изготовления несущего модуля предусматривают заполнение отверстия в подложке твердым материалом с возможностью изменения агрегатн