METHOD FOR MANUFACTURING POLISHING PAD WINDOW, AND POLISHING PAD WINDOW MANUFACTURED THEREBY

The present invention provides a method for manufacturing a polishing pad window, a polishing pad window manufactured by the method, and a polishing pad including the window, the method comprising the steps of: a) producing a mixture by mixing a curing agent and a polyurethane prepolymer having a temperature of at least 50°C but not more than 100°C; b) injecting the mixture, to a thickness of 5 mm or less, into a mold heated to a temperature of at least 30°C but not more than 100°C; c) demolding a polyurethane cured product from the mold; and d) processing the polyurethane cured product to the thickness of a window of a polishing pad. La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une fenêtre de tampon de polissage, une fenêtre de tampon de polissage fabriquée par le procédé, et un tampon de polissage comprenant la fenêtre, le procédé comprenant les étapes consistant à : a) produire un mélange par mélange d'un agent de durcissement et d'un prépolymère de polyuréthane ayant une température d'au moins 50 °C mais d'au plus 100 °C ; b) injecter le mélange, à une épaisseur de 5 mm ou moins, dans un moule chauffé à une température d'au moins 30 °C mais d'au plus 100 °C ; c) démouler un produit durci de polyuréthane du moule ; et d) traiter le produit durci de polyuréthane jusqu'à l'épaisseur d'une fenêtre d'un tampon de polissage. 본 발명은 a) 50℃ 이상 내지 100℃ 미만의 온도를 갖는 폴리 우레탄 예비 중합체와 경화제를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계; b) 상기 혼합물을 30℃ 이상 내지 100℃ 미만의 온도로 가열된 몰드에 5mm 이하의 두께로 주입하는 단계; c) 상기 몰드로부터 폴리 우레탄 경화물을 탈형하는 단계; 및 d) 상기 폴리 우레탄 경화물을 연마패드의 윈도우 두께로 가공하는 단계;를 포함하는 연마패드용 윈도우의 제조방법 및 상기 방법으로 제조된 연마패드용 윈도우 및 상기 윈도우를 포함하는 연마패드를 제공한다.