LASER IRRADIATION METHOD AND LASER IRRADIATION DEVICE

The present invention comprises: a photonic-crystal surface-emitting laser (PCSEL) element (110) that emits a laser beam (LB); a laser head (24) that condenses the laser beam (LB) with a condensing lens (27) at optical transmission paths (25, 30) through spatial propagation of the laser beam (LB) emitted from the PCSEL element (110); and movement mechanisms (22, 23, 24) that, through the relative movement, along the optical axis direction of the laser beam (LB), of the condenser lens (27) relative to an irradiation target object (W) of the laser beam (LB), causes the irradiation target object W to be irradiated with the laser beam (LB) condensed by the condenser lens (27) at any irradiation position within a Rayleigh length (ZR) range regardless of a beam waist (BW) position in the optical axis direction of the laser beam (LB). La présente invention comprend : un élément laser à émission de surface à cristal photonique (PCSEL) (110) qui émet un faisceau laser (LB) ; une tête laser (24) qui condense le faisceau laser (LB) avec une lentille de condensation (27) au niveau de trajets de transmission optique (25, 30) par propagation spatiale du faisceau laser (LB) émis à partir de l'élément PCSEL (110) ; et des mécanismes de déplacement (22, 23, 24) qui, par l'intermédiaire du déplacement relatif, le long de la direction d'axe optique du faisceau laser (LB), de la lentille de condenseur (27) par rapport à un objet cible d'irradiation (W) du faisceau laser (LB), amènent l'objet cible d'irradiation (W) à être irradié avec le faisceau laser (LB) condensé par la lentille de condenseur (27) à n'importe quelle position d'irradiation dans une plage de longueur de Rayleigh (ZR) indépendamment d'une position de taille de faisceau (BW) dans la direction d'axe optique du faisceau laser (LB). レーザビーム（ＬＢ）を射出するフォトニック結晶面発光レーザ（ＰＣＳＥＬ）素子（１１０）と、ＰＣＳＥＬ素子（１１０）から射出されるレーザビーム（ＬＢ）の、空間伝搬による光伝送路（２５，３０）において、レーザビーム（ＬＢ）を集束レンズ（２７）により集束するレーザヘッド（２４）と、レーザビーム（ＬＢ）の照射対象物（Ｗ）に対する集束レンズ（２７）の、レーザビーム（ＬＢ）の光軸方向に沿った相対移動により、レーザビーム（ＬＢ）の光軸方向におけるビームウエスト（ＢＷ）位置に拘わらずレイリー長（ＺＲ）範囲内のいずれかの照射位置において、集束レンズ（２７）により集束されたレーザビーム（ＬＢ）を照射対象物Ｗに照射させる移動機構（２２，２３，２４）と、を備える。