METHOD FOR TREATING SURFACE OF METAL OXIDE, METHOD FOR MANUFACTURING PEROVSKITE SOLAR CELL, AND METAL OXIDE SURFACE TREATMENT DEVICE

In order to treat, in a short time, the surface of a metal oxide used in an electron transport layer or the like of a Perovskite solar cell, this method for treating the surface of a metal oxide 30 is provided with an oxygen plasma generation step for supplying high-frequency electric power having a frequency of 1-40 kHz to generate an oxygen plasma PO, and a metal oxide surface modification step for irradiating the surface of the metal oxide 30 with oxygen ions IO in the oxygen plasma PO to modify the surface of the metal oxide 30. Afin de traiter, en un court laps de temps, la surface d'un oxyde métallique utilisé dans une couche de transport d'électrons ou similaire d'une cellule solaire en pérovskite, l'invention concerne un procédé de traitement de la surface d'un oxyde métallique 30 qui comprend une étape de génération de plasma d'oxygène pour fournir une énergie électrique haute fréquence ayant une fréquence de 1 à 40 kHz pour générer un plasma d'oxygène PO et une étape de modification de surface d'oxyde métallique pour exposer la surface de l'oxyde métallique 30 à des ions oxygène IO dans le plasma d'oxygène PO pour modifier la surface de l'oxyde métallique 30. ペロブスカイト太陽電池の電子輸送層などに使用される金属酸化物の表面を短時間で処理する。 金属酸化物３０の表面処理方法は、周波数１ｋＨｚ以上４０ｋＨｚ以下の高周波電力を供給して、酸素プラズマＰＯを生成する酸素プラズマ生成工程と、金属酸化物３０の表面に酸素プラズマＰＯ中の酸素イオンＩＯを照射して、金属酸化物３０の表面を改質する金属酸化物表面改質工程を備えている。