FOUR OR CASSETTE STORAGE FOR HYBRID SUBSTRATE BONDING SYSTEM

Embodiments of equipment front end modules (EFEMs) are provided herein. In some embodiments, an EFEM includes: two or more loadports for receiving two or more types of substrates; an overhead storage unit having a plurality of storage shelves disposed above the two or more loadports and configured to hold two or more types of front opening unified pods (FOUPs) of different sizes that store the two or more types of substrates, respectively, wherein a horizontal alley is disposed between the plurality of storage shelves and the two or more loadports to provide a horizontal passageway for the FOUPs during transport to the two or more loadports; and an overhead transport system having a pair of vertical actuators disposed on opposite sides of the overhead storage unit and configured to transport FOUPs from the overhead storage unit to the two or more loadports. L'invention concerne des modes de réalisation de modules d'extrémité avant d'équipement (EFEM, « equipment front end module »). Dans certains modes de réalisation, un EFEM comprend : au moins deux ports de chargement pour recevoir au moins deux types de substrats ; une unité de stockage aérien ayant une pluralité d'étagères de stockage agencées au-dessus des deux ports de chargement ou plus et conçues pour contenir au moins deux types de nacelles unifiées d'ouverture avant (FOUP, « front opening unified pod ») de différentes tailles qui stockent les au moins deux types de substrats, respectivement, une allée horizontale étant agencée entre la pluralité d'étagères de stockage et les deux ports de chargement ou plus pour fournir un passage horizontal pour les nacelles unifiées d'ouverture avant pendant le transport vers les deux ports de chargement ou plus ; et un système de transport aérien ayant une paire d'actionneurs verticaux agencés sur des côtés opposés de l'unité de stockage aérienne et conçus pour transporter des nacelles unifiées d'ouverture avant de l'unité de stockage aérienne vers les deux ports de chargement ou plus.