ELEMENT OF AN AFM TOOL

The disclosure relates to determining information about a target structure formed on a substrate using a lithographic process. In one arrangement, a cantilever probe is provided having a cantilever arm and a probe element. The probe element extends from the cantilever arm towards the target structure. Ultrasonic waves are generated in the cantilever probe. The ultrasonic waves propagate through the probe element into the target structure and reflect back from the target structure into the probe element or into a further probe element extending from the cantilever arm. The reflected ultrasonic waves are detected and used to determine information about the target structure. La divulgation porte sur la détermination d'informations concernant une structure cible formée sur un substrat à l'aide d'un procédé lithographique. Selon un agencement, une sonde en porte-à-faux est pourvue d'un bras en porte-à-faux et d'un élément de sonde. L'élément de sonde s'étend du bras en porte-à-faux vers la structure cible. Des ondes ultrasonores sont générées dans la sonde en porte-à-faux. Les ondes ultrasonores se propagent à travers l'élément de sonde dans la structure cible et sont réfléchies en retour depuis la structure cible dans l'élément de sonde ou dans un autre élément de sonde s'étendant depuis le bras en porte-à-faux. Les ondes ultrasonores réfléchies sont détectées et utilisées pour déterminer des informations concernant la structure cible.