FASTENING ASSEMBLY FOR BEAM BLOCKER IN ION PROCESSING APPARATUS

A fastening assembly for fastening a beam blocker to an extraction plate, the fastening assembly including a mounting pin having a shaft portion, a base portion at a first end of the shaft portion, and a head portion at a second end of the shaft portion, a centering sleeve radially surrounding the shaft portion and axially abutting the base portion, the centering sleeve being radially compressible between the shaft portion and the extraction plate and between the shaft portion and the beam blocker, an annular spacer surrounding the centering sleeve and axially abutting the beam blocker, with the centering sleeve extending partially into the spacer, and a latching cap surrounding the shaft portion and axially abutting the spacer, with the shaft portion extending through a through hole of the latching cap, the through hole being smaller than the head portion in a direction perpendicular to an axis of mounting pin. Ensemble de fixation servant à fixer un bloqueur de faisceau à une plaque d'extraction, l'ensemble de fixation comprenant une broche de montage possédant une partie arbre, une partie base au niveau d'une première extrémité de la partie arbre, et une partie tête au niveau d'une seconde extrémité de la partie arbre, un manchon de centrage entourant radialement la partie arbre et venant en butée axiale contre la partie base, le manchon de centrage étant radialement compressible entre la partie arbre et la plaque d'extraction et entre la partie arbre et le bloqueur de faisceau, un élément d'espacement annulaire entourant le manchon de centrage et venant en butée axiale contre le bloqueur de faisceau, le manchon de centrage s'étendant partiellement dans l'élément d'espacement, et un capuchon de verrouillage entourant la partie arbre et venant en butée axiale contre l'élément d'espacement, la partie arbre s'étendant à travers un trou traversant du capuchon de verrouillage, le trou traversant étant plus petit que la partie tête dans une direction perpendiculaire à un axe de broche de montage.