DRY VACUUM PUMP

A dry vacuum pump (1) comprises a purge gas supply passage (9). Between a fixed-side internal end face (63) of a pump chamber (6) and a rotor end face (243) of a Roots rotor (24), a small gap portion that can maintain gas sealing is formed along an outer peripheral edge portion of the rotor end face (243), and a wide-area gap portion (94) surrounded by the small gap portion is formed. A purge gas is supplied to the gap portion (94) through the purge gas supply passage (9). The Roots rotor (24) is rotated in a state in which the purge gas is accumulated in the gap portion (94), and a suction gas near the internal end face (63) of the pump chamber (6) is diluted. Precipitation and deposition of products on the internal end face (63), and harmful effects such as corrosion of the internal end face (63) and the rotor end face (243) are reduced. Une pompe à vide sèche (1) comprend un passage d'alimentation en gaz de purge (9). Entre une face d'extrémité interne côté fixe (63) d'une chambre de pompe (6) et une face d'extrémité de rotor (243) d'un rotor Roots (24), une petite partie d'espace qui peut maintenir une étanchéité aux gaz est formée le long d'une partie de bord périphérique externe de la face d'extrémité de rotor (243), et une partie d'espace large zone (94) entourée par la petite partie d'espace est formée. Un gaz de purge est fourni à la partie d'espace (94) à travers le passage d'alimentation en gaz de purge (9). Le rotor Roots (24) est mis en rotation dans un état dans lequel le gaz de purge est accumulé dans la partie d'espace (94), et un gaz d'aspiration à proximité de la face d'extrémité interne (63) de la chambre de pompe (6) est dilué. La précipitation et le dépôt de produits sur la face d'extrémité interne (63) et des effets nocifs tels que la corrosion de la face d'extrémité interne (63) et de la face d'extrémité de rotor (243) sont réduits. ドライ真空ポンプ（１）はパージガス供給経路（９）を備えている。ポンプ室（６）の固定側の室内端面（６３）と、ルーツロータ（２４）のロータ端面（２４３）との間には、ロータ端面（２４３）の外周縁部分に沿ってガスシール性を維持可能な微小隙間部分が形成され、微小隙間部分によって取り囲まれた広い面積の隙間部分（９４）が形成される。パージガス供給経路（９）を介して隙間部分（９４）にパージガスが供給される。隙間部分（９４）にパージガスが溜まった状態でルーツロータ（２４）が回転して、ポンプ室（６）の室内端面（６３）近傍の吸引ガスが希釈される。室内端面（６３）への生成物析出・堆積及び、室内端面（６３）、ロータ端面（２４３）が腐食する等の弊害が抑制される。