METHOD AND APPARATUS FOR LITHOGRAPHIC IMAGING

Systems, methods, and computer programs for providing a force opposed to inertial forces present on a patterning device during imaging operations of a photolithographic system include a means for providing coarse positioning of a pusher in combination with a short-stroke actuator and pushing tip configured to engage an edge of the patterning device. In an embodiment, the coarse positioning is provided by providing a guide along which the short-stroke actuator may be translated, and a locking mechanism is configured to selectively hold the actuator in place relative to the patterning device. In an embodiment, the coarse positioning is provided by a long-stroke actuator, for example an eccentric linear drive actuator. Des systèmes, des procédés et des programmes informatiques qui servent à fournir une force opposée aux forces inertielles présentes sur un dispositif de formation de motifs pendant des opérations d'imagerie d'un système photolithographique comprennent un moyen servant à assurer le positionnement grossier d'un poussoir en combinaison avec un actionneur à course courte et une pointe de poussée conçue pour venir en prise avec un bord du dispositif de formation de motifs. Dans un mode de réalisation, le positionnement grossier est assuré grâce à un guide le long duquel l'actionneur à course courte peut être translaté, et un mécanisme de verrouillage est configuré de façon à sélectivement maintenir l'actionneur en place par rapport au dispositif de formation de motifs. Dans un mode de réalisation, le positionnement grossier est assuré par un actionneur à course longue, un actionneur à entraînement linéaire excentrique, par exemple.