IN-LINE SYSTEM FOR COATING INDIVIDUAL OR GROUPS OF SUBSTRATES AND METHOD FOR COATING INDIVIDUAL SUBSTRATES OR SUBSTRATE GROUPS IN AN IN-LINE COATING SYSTEM

Die Erfindung betrifft eine Inline-Anlage zum Beschichten von einzelnen oder von Gruppen von Substraten, die mehrere hintereinander angeordnete, über Pumpen evakuierbare Kammern aufweist, nämlich eine Einschleusekammer, eine Wartekammer, mindestens eine Prozesskammer, eine weitere Wartekammer und eine Ausschleusekammer, die von den Substraten oder Substratgruppen nacheinander durchlaufen werden und die durch Ventile jeweils verschließbar sind. Erfindungsgemäß besitzt die Einschleuse- und die Ausschleusekammer jeweils eine Kapazität zur gleichzeitigen Aufnahme von mehreren, nämlich n Substraten oder Substratgruppen sowie eine Wartekammer, deren Kapazität (n-1 ) Substrate oder Substratgruppen aufnehmen lässt, wohingegen die Aufnahmekapazität der Behandlungskammern auf jeweils ein Substrat oder eine Substratgruppe beschränkt ist. The invention relates to an in-line system for coating individual or groups of substrates, comprising multiple chambers which are arranged one after another and can be evacuated via pumps, namely a loading chamber, a waiting chamber, at least one processing chamber, a further waiting chamber and an unloading chamber, through which the substrates or substrate groups pass one after another and which can each be closed by valves. According to the invention, the loading and unloading chambers each have the capacity to simultaneously accommodate multiple, namely n, substrates or substrate groups, and a waiting chamber has the capacity to accommodate (n-1) substrates or substrate groups, whereas the accommodating capacity of the handling chambers is limited to one substrate or substrate group at a time. L'invention concerne un système en ligne de revêtement de substrats individuels ou de groupes de substrats, comprenant de multiples chambres qui sont disposées les unes après les autres et peuvent être évacuées par l'intermédiaire de pompes, à savoir une chambre de chargement, une chambre d'attente, au moins une chambre de traitement, une autre chambre d'attente et une chambre de déchargement, à travers lesquelles les substrats ou les groupes de substrats passent les uns après les autres et qui peuvent chacune être fermées par des vannes. Selon l'invention, les chambres de chargement et de déchargement ont chacune la capacité de recevoir simultanément de multiples, à savoir n, substrats ou groupes de substrats, et une chambre d'attente a la capacité de recevoir (n-1) substrats ou groupes de substrats, tandis que la capacité de réception des