MULTI-ZONE COATINGS ON PARTS FOR GALLING PREVENTION AND HIGH-TEMPERATURE CHEMICAL STABILITY

Disclosed herein are fasteners for use in a semiconductor wafer process chamber. The fasteners may be used to secure hardware. The fasteners may include outermost surfaces that are provided by multiple different coatings, e.g., a hard coating and a dry lubricant coating. The hard coating may provide outermost surfaces of the fastener that are exposed to a plasma when a remote plasma clean is performed and may be used to prevent particle generation when the fastener is subjected to the remote plasma clean. The dry lubricant coating may provide outermost surfaces of a threaded portion of the fastener and may be used to prevent galling. L'invention concerne des éléments de fixation destinés à être utilisés dans une chambre de traitement de tranche de semi-conducteur. Les éléments de fixation peuvent être utilisés pour fixer du matériel. Les éléments de fixation peuvent comprendre des surfaces les plus externes qui sont fournies par plusieurs revêtements différents, par exemple, un revêtement dur et un revêtement lubrifiant sec. Le revêtement dur peut fournir aux surfaces les plus externes de l'élément de fixation qui sont exposées à un plasma lorsqu'un nettoyage au plasma à distance est effectué et peut être utilisé pour empêcher la génération de particules lorsque l'élément de fixation est soumis au nettoyage au plasma à distance. Le revêtement lubrifiant sec peut fournir aux surfaces les plus à l'extérieur une partie filetée de l'élément de fixation et peut être utilisé pour empêcher des éraillures.