DIGITAL PHOTOLITHOGRAPHY SYSTEM, COMPONENTS THEREOF AND RELATED METHODS

Embodiments of the disclosure relate to digital lithography systems and components thereof. Digital lithography systems may include a rotation assembly for an exposure unit, including a kinematic socket configured to support the exposure unit, the kinematic socket having a socket seat and a sphere received in the socket seat, wherein the socket seat is configured to support a load of the exposure unit during translational movement and the sphere is a pivot point for tip and tilt movement; and a motor configured to rotate the one or more exposure unit via the kinematic socket. The rotation assembly may provide a point of contact for the exposure unit together with two additional points of contact that stabilize movement of the exposure unit. Also disclosed are methods of preparation and use of such systems and components. Des modes de réalisation de l'invention concernent des systèmes de lithographie numérique et des composants de ceux-ci. Les systèmes de lithographie numérique peuvent comprendre un ensemble de rotation pour une unité d'exposition, comprenant une douille cinématique configurée pour supporter l'unité d'exposition, la douille cinématique ayant un siège de douille et une sphère reçue dans le siège de douille, le siège de douille étant configuré pour supporter une charge de l'unité d'exposition pendant un mouvement de translation et la sphère étant un point de pivot pour un mouvement de pointe et d'inclinaison ; et un moteur configuré pour faire tourner la ou les unités d'exposition par l'intermédiaire de la douille cinématique. L'ensemble de rotation peut constituer un point de contact pour l'unité d'exposition conjointement avec deux points de contact supplémentaires qui stabilisent le mouvement de l'unité d'exposition. L'invention concerne également des procédés de préparation et d'utilisation de tels systèmes et composants.