ECO-EFFICIENCY MONITORING AND EXPLORATION PLATFORM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

Technologies directed to an eco-efficiency monitoring and exploration platform for semiconductor manufacturing. One method includes receiving, by a processing device, first data indicating an update to a substrate fabrication system having a first configuration of manufacturing equipment and operating to one or more process procedures. The method further includes determining, by the processing device, using the first data with a digital replica, environmental resource data. The digital replica includes a digital reproduction of the substrate fabrication system. The environmental resource usage data indicates an environment resource consumption that corresponds to performing the one or more process procedures by the substrate fabrication system incorporating the update. The method further includes providing, by the processing device, the environmental resource usage data for display on a graphical user interface (GUI). Technologies relatives à une plate-forme de surveillance et d'exploration à éco-efficacité destinée à la production de semi-conducteurs. Un procédé consiste à recevoir, par un dispositif de traitement, des premières données indiquant une mise à jour d'un système de fabrication de substrat présentant une première configuration d'équipement de production et à faire fonctionner une ou plusieurs procédures de traitement. Le procédé consiste en outre à déterminer, par le dispositif de traitement, à l'aide des premières données pourvues d'une réplique numérique, des données de ressources environnementales. La réplique numérique comprend une reproduction numérique du système de fabrication de substrat. Les données d'utilisation de ressources environnementales indiquent une consommation de ressources d'environnement qui correspond à la réalisation d'une ou plusieurs procédures de processus par le système de fabrication de substrat incorporant la mise à jour. Le procédé consiste en outre à fournir, par le dispositif de traitement, les données d'utilisation de ressources environnementales permettant un affichage sur une interface utilisateur graphique (GUI).