PROBE CARD

[Problem] One objective of the present invention is to provide a probe card with which contact failures do not readily occur. Another objective of the present invention is to provide a probe card having good high-frequency characteristics and current resistance, and having good conductivity. [Solution] This probe card comprises a wiring board 10 having one or more probe electrodes 102 formed thereon, an upper guide plate 13 which is separated downward from the wiring board 10, is disposed facing the wiring board 10, and has one or more upper guide holes 131 formed therein, a lower guide plate 14 which is separated downward from the upper guide plate 13, is disposed facing the upper guide plate 13, and has one or more lower guide holes 141 formed therein, and a probe group 15G comprising two or more probes 15 which are inserted through the same upper guide hole 131 and are inserted through the same lower guide hole 141, and which are connected to the same probe electrode 102 and to the same electrode pad 201 on an object to be inspected, wherein the probes 15 constituting the probe group 15G are configured to be capable of undergoing buckling deformation independently of one another between the upper guide plate 13 and the lower guide plate 14, and are configured such that lower ends thereof are capable of moving independently of one another in a vertical direction. Le problème décrit par la présente invention est de fournir une carte sonde qui ne présente pas facilement de défaillance de contact. Un autre objectif de la présente invention est de fournir une carte de sonde présentant de bonnes caractéristiques à haute fréquence et une bonne résistance au courant, ainsi qu'une bonne conductivité. La solution selon l'invention porte sur une carte sonde qui comprend une carte de câblage (10) sur laquelle sont formées une ou plusieurs électrodes de sonde (102), une plaque de guidage supérieure (13) séparée vers le bas de la carte de câblage (10), disposée face à la carte de câblage (10) et percée d'un ou plusieurs trous de guidage supérieurs (131), une plaque de guidage inférieure (14) séparée vers le bas de la plaque de guidage supérieure (13), disposée face à la plaque de guidage supérieure (13) et percée d'un ou plusieurs trous de guidage inférieurs (141), et un groupe de sondes (15G) constitué de deux ou plusieurs sondes (15) insérées dans le même trou de guidage supérieur (131) et dans le même trou de guidage inférieur (141), et connectées à la même électr