PLATFORM FOR CHARGED PARTICLE APPARATUS AND COMPONENTS WITHIN A CHARGED PARTICLE APPARATUS

Disclosed herein is a platform for a charged particle apparatus, the platform comprising: a base frame; a chamber arranged to comprise a substrate; a metrology frame arranged to support a charged particle beam generator for irradiating a substrate in the chamber with a charged particle beam; and a bellow arranged between the metrology frame and the chamber; wherein: the chamber is rigidly connected to the base frame; the bellow comprises a flexible material such that the metrology frame is substantially isolated from any vibrations that are generated in the chamber; and the bellow is air tight so that a substantial vacuum may be established in the chamber. Est divulguée ici une plate-forme pour un appareil à particules chargées, la plate-forme comprenant : un cadre de base ; une chambre agencée pour comprendre un substrat ; un cadre de métrologie agencé pour supporter un générateur de faisceaux de particules chargées pour exposer un substrat dans la chambre à un rayonnement d'un faisceau de particules chargées ; et un soufflet disposé entre le cadre de métrologie et la chambre. La chambre est solidarisée au cadre de base ; le soufflet comprend un matériau flexible de sorte que le cadre de métrologie est sensiblement isolé de toutes les vibrations qui sont générées dans la chambre ; et le soufflet est étanche à l'air de sorte qu'un vide important puisse être établi dans la chambre.