CARRIER TRANSPORT SYSTEM, VACUUM DEPOSITION SYSTEM, AND METHOD OF CARRIER TRANSPORT

A carrier transport system (100) for transporting a carrier in a transport direction (T) is described. The carrier transport system includes at least one first carrier holder (110) configured to hold a first carrier (10) in an essentially vertical orientation (V); at least one drive unit (112) for t...

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1. Verfasser: HEIMEL, Oliver
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A carrier transport system (100) for transporting a carrier in a transport direction (T) is described. The carrier transport system includes at least one first carrier holder (110) configured to hold a first carrier (10) in an essentially vertical orientation (V); at least one drive unit (112) for transporting the first carrier in the transport direction (T) on or off the at least one first carrier holder (110), wherein the at least one first carrier holder is movable in a path switch direction (S) transverse to the transport direction (T) and is turnable between a holding position (I) and a return position (II) around a first rotation axis (A1) that extends in the path switch direction (S). La présente invention concerne un système de transport de support (100) pour transporter un support (10) dans une direction de transport (T). Le système de transport de support comprend au moins un premier support de support (110) conçu pour contenir un premier support (10) dans une orientation sensiblement verticale (V) ; au moins une unité d'entraînement (112) pour transporter le premier support dans la direction de transport (T) sur ou hors du ou des premiers supports de support (110), le ou les premiers supports de support étant mobiles dans une direction de commutation de trajet (S) transversale à la direction de transport (T) et pouvant tourner entre une position de maintien (I) et une position de retour (II) autour d'un premier axe de rotation (A1) qui s'étend dans la direction de commutation de trajet (S).