METHOD FOR IMAGING BY MEANS OF A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE FOR CARRYING OUT THE METHOD

Im Rahmen der Bildgebung mit einem Rasterelektronenmikroskop erfolgt zunächst ein Positionieren (27) eines abzubildenden Samples in einer Vakuumkammer des Rasterelektronenmikroskops (REM), sodass ein Bildfeld des REM auf einem abzubildenden Abschnitt des Samples zu liegen kommt. Es folgt ein Zugeben (29) von Wasser in die Vakuumkammer, sodass sich das Wasser im Bereich des Bildfeldes auf dem Sample als H2O-Schicht niederschlägt. Es folgt ein Kühlen (30) des Samples in der Vakuumkammer auf eine Temperatur unterhalb von -10°C. Dann folgt ein Durchführen (32) einer Sample-Reinigung mithilfe mindestens eines Elektronen-Reinigungsscans innerhalb eines Reinigungsfeldes, in dem das Bildfeld liegt. Während des Reinigungsscans wird die H2O-Schicht abgetragen. Dann wird das Bildfeld (34) mithilfe eines Elektonen-Bildgebungsscans nach Beendigung des mindestens einen Reinigungs-Scans abgebildet (35). Es resultiert ein bildgebendes Verfahren, bei dem beim Abbilden eines Bildfeldes auf dem abzubildenden Sample eine saubere Sampleoberfläche mit hoher Sicherheit vorliegt. In the imaging by means of a scanning electronic microscope, first a sample to be imaged is positioned (27) in a vacuum chamber of the scanning electronic microscope such that an image field of the scanning electron microscope comes to lie on a portion of the sample, which portion is to be imaged. Subsequently water is fed (29) into the vacuum chamber such that the water precipitates on the sample as an H2O layer in the region of the image field. Subsequently the sample is cooled (30) in the vacuum chamber to a temperature below -10°C. Then a sample cleaning is carried out (32) by means of at least one electron cleaning scan within a cleaning field, in which the image field lies. During the cleaning scan, the H2O layer is removed. Then the image field (34) is imaged (35) by means of an electron imaging scan after the end of the at least one cleaning scan. The result is an imaging method in which, with high certainty, there is a clean sample surface during the imaging of an image field on the sample to be imaged. Dans l'imagerie au moyen d'un microscope électronique à balayage, un échantillon à soumettre à l'imagerie est d'abord positionné (27) dans une chambre à vide du microscope électronique à balayage de telle sorte qu'un champ d'image du microscope électronique à balayage vient se placer sur une partie de l'échantillon, ladite partie devant être soumise à l'imagerie. Ensuite, de l'eau est introduite