ALIGNING A DISTORTED IMAGE

Disclosed herein is a non-transitory computer readable medium that has stored therein a computer program, wherein the computer program comprises code that, when executed by a computer system, instructs the computer system to perform a method of determining the charging induced distortion of a SEM image, the method comprising: determining, at each of a plurality of locations in a SEM image of at least part of a sample, a deflection of an illuminating charged particle beam caused by a charging of the sample at the location; and determining the charging induced distortion of the SEM image in dependence on the determined deflections at each of the plurality of locations in the SEM image. Est divulgué un support lisible par ordinateur non transitoire dans lequel est stocké un programme informatique, le programme informatique comprenant un code qui, lorsqu'il est exécuté par un système informatique, ordonne au système informatique de mettre en œuvre un procédé de détermination de la distorsion induite par charge d'une image MEB, le procédé consistant à : déterminer, au niveau de chaque emplacement d'une pluralité d'emplacements dans une image MEB d'au moins une partie d'un échantillon, une déflexion d'un faisceau de particules chargées d'éclairage provoquée par une charge de l'échantillon au niveau de l'emplacement ; et déterminer la distorsion induite par charge de l'image MEB en fonction des déflexions déterminées au niveau de chaque emplacement de la pluralité d'emplacements dans l'image MEB.