SYSTEM AND METHOD FOR CARBON PLUG FORMATION

One example provides a fabrication tool comprising a chamber, a pedestal electrode and a showerhead electrode arranged in the chamber, one or more gas inlets into the chamber, a vacuum pump system, a radiofrequency (RF) power source configured to form an RF plasma between the pedestal electrode and the showerhead electrode, and a controller comprising a processor and memory. The memory comprises instructions executable by the processor to operate the flow control hardware to introduce a hydrogen-containing reducing agent and a hydrocarbon gas into the chamber, and to operate the RF power source to form a plasma between the pedestal electrode and the showerhead electrode to fully deposit a carbon plug in a recess of a workpiece positioned on a pedestal within the chamber in a single plasma deposition cycle with no intermediate carbon removal process. Un exemple de l'invention concerne un outil de fabrication comprenant une chambre, une électrode à piédestal et une électrode de tête de projection agencées dans la chambre, une ou plusieurs entrées de gaz vers la chambre, un système de pompe à vide, une source d'alimentation radiofréquence (RF) configurée pour former un plasma RF entre l'électrode à piédestal et l'électrode de tête de projection, et un dispositif de commande comprenant un processeur et une mémoire. La mémoire comprend des instructions exécutables par le processeur pour faire fonctionner le matériel de commande d'écoulement pour introduire un agent réducteur contenant de l'hydrogène et un hydrocarbure gazeux dans la chambre, et pour faire fonctionner la source d'alimentation RF pour former un plasma entre l'électrode à piédestal et l'électrode de tête de projection pour déposer complètement un bouchon de carbone dans un évidement d'une pièce de fabrication positionnée sur un piédestal au sein de la chambre en un cycle unique de dépôt par plasma sans processus intermédiaire de retrait de carbone.