USE OF ARRAYS OF QUARTZ PARTICLES DURING SINGLE CRYSTAL SILICON INGOT PRODUCTION
Methods for producing single crystal silicon ingots in which an array of quartz particles are added to the crucible assembly before ingot growth are disclosed. The array may be disposed in the outer melt zone of the crucible assembly as in a continuous Czochralski (CCz) process. The array is made of...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Methods for producing single crystal silicon ingots in which an array of quartz particles are added to the crucible assembly before ingot growth are disclosed. The array may be disposed in the outer melt zone of the crucible assembly as in a continuous Czochralski (CCz) process. The array is made of quartz particles that are interconnected by linking members.
L'invention concerne des procédés de production de lingots de silicium monocristallin dans lesquels un réseau de particules de quartz est ajouté à l'ensemble creuset avant la croissance du lingot. Le réseau peut être disposé dans la zone de fusion externe de l'ensemble creuset comme dans un tirage de Czochralski continu (CCz). Le réseau est constitué de particules de quartz qui sont interconnectées par des éléments de liaison. |
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