PIN LIFT HARD STOP

A hard stop for a substrate processing system includes: a first portion including: bosses configured to extend into first apertures in a lower bellows of a pin actuator; second apertures extending through the bosses, respectively, and the first portion; and a second portion including: a first end th...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BERTSCH, Kevin, CMELAK, Bryan Anthony, SONTI, Sreeram, HIESTER, Jacob L
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A hard stop for a substrate processing system includes: a first portion including: bosses configured to extend into first apertures in a lower bellows of a pin actuator; second apertures extending through the bosses, respectively, and the first portion; and a second portion including: a first end that is connected to the first portion; and a second end configured to contact a bracket of the pin actuator, the bracket configured to mount the pin actuator to a substrate processing chamber. Une butée dure pour un système de traitement de substrat comprend : une première partie comprenant : des bossages configurés pour s'étendre dans des premières ouvertures dans un soufflet inférieur d'un actionneur à broche ; des secondes ouvertures s'étendant à travers les bossages, respectivement, et la première partie ; et une seconde partie comprenant : une première extrémité qui est reliée à la première partie ; et une seconde extrémité configurée pour entrer en contact avec un support de l'actionneur de broche, le support étant configuré pour monter l'actionneur de broche sur une chambre de traitement de substrat.