PRESSURE SENSOR, AND DISPENSING DEVICE
The objective of the present invention is to provide a pressure sensor having an improved effect of suppressing peeling of a pressure accepting portion such as a diaphragm. A pressure sensor 15 according to the present invention comprises a sensor enclosure 32 in which a first flow passage 33 and a...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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Zusammenfassung: | The objective of the present invention is to provide a pressure sensor having an improved effect of suppressing peeling of a pressure accepting portion such as a diaphragm. A pressure sensor 15 according to the present invention comprises a sensor enclosure 32 in which a first flow passage 33 and a second flow passage 35 that branches from the first flow passage 33 are formed, a sensor chip 31 which includes a diaphragm portion 31a provided so as to block the second flow passage 35, and which is joined to the sensor enclosure 32, a cap member 34 installed on the sensor chip 31 so as to cover the diaphragm portion 31a from the opposite side to the sensor enclosure 32, and a pressing member 60 for pressing the cap member 34 toward the sensor chip 31, wherein an inner circumference of a part of the cap member 34 that is placed on the sensor chip 31 is disposed so as to be positioned further toward the center of the diaphragm portion 31a than an inner circumference of a joint portion 36 of the sensor enclosure 32 and the sensor chip 31.
L'objectif de la présente invention est de fournir un capteur de pression ayant un effet de suppression de décollement amélioré d'une partie acceptant la pression telle qu'une membrane. Un capteur de pression 15 selon la présente invention comprend une enceinte de capteur 32 dans laquelle sont formés un premier passage d'écoulement 33 et un second passage d'écoulement 35 qui se ramifie à partir du premier passage d'écoulement 33, une puce de capteur 31 qui comprend une partie de membrane 31a prévue pour bloquer le second passage d'écoulement 35, et qui est jointe à l'enceinte de capteur 32, un élément de capuchon 34 installé sur la puce de capteur 31 de manière à couvrir la partie de membrane 31a du côté opposé à l'enceinte de capteur 32, et un élément de pression 60 pour presser l'élément de capuchon 34 vers la puce de capteur 31, une circonférence intérieure d'une partie de l'élément de capuchon 34 qui se trouve sur la puce de capteur 31 étant disposée de manière à être positionnée plus loin vers le centre de la partie de membrane 31a qu'une circonférence interne d'une partie de joint 36 de l'enceinte de capteur 32 et de la puce de capteur 31.
本発明の目的は、ダイアフラムなどの受圧部における剥離抑制効果を向上した圧力センサを提供することにある。本発明の圧力センサ15は、第1流路33および第1流路33から分岐した第2流路35が形成されたセンサ筐体32と、第2流路35を塞ぐように設けられたダイアフラム部31aを含みセンサ筐体32に接合されるセンサチップ31と、センサ筐体32の側とは反対側からダイアフラム部31aを覆うようにセンサチップ31の上に設置されたキャップ部材34と、キャップ部材34をセンサチップ31に向かって押圧する押圧部材60と、を備え、センサチップ31におけるキャップ部材34の設置部位の内周は、セン |
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