SHOWERHEAD WITH HOLE SIZES FOR RADICAL SPECIES DELIVERY

A showerhead comprises a first set of holes and a second set of holes. The first set of holes have a greater diameter and length than the second set of holes. The first set of holes extend through a thickness of the showerhead. In some embodiments, the showerhead includes a base portion and a cylindrical portion extending perpendicularly from the base portion. The base portion may define a plenum that is in fluid communication with the second set of holes but separate from the first set of holes. The second set of holes extend from the plenum to a bottom surface of the showerhead. In some implementations, the first diameter of the first set of holes may be optimized to filter ions from a plasma, pass radicals from the plasma through the showerhead, and to limit back-diffusion of precursors through the showerhead. Une pomme de douche comprend un premier ensemble de trous et un second ensemble de trous. Le diamètre et la longueur du premier ensemble de trous excèdent ceux du second ensemble de trous. Le premier ensemble de trous traverse l'épaisseur de la pomme de douche. Selon certains modes de réalisation, la pomme de douche comporte : une partie de base ; et une partie cylindrique, perpendiculaire à la partie de base. La partie de base peut définir un plénum, en communication fluidique avec le second ensemble de trous mais séparé du premier ensemble de trous. Le second ensemble de trous s'étend du plénum à une surface inférieure de la pomme de douche. Selon certains modes de réalisation, le premier diamètre du premier ensemble de trous peut être optimisé : pour filtrer des ions d'un plasma ; pour laisser passer des radicaux du plasma à travers la pomme de douche ; et pour limiter la rétrodiffusion de précurseurs à travers la pomme de douche.