INSPECTION APPARATUS, POLARIZATION-MAINTAINING ROTATABLE BEAM DISPLACER, AND METHOD

An inspection apparatus includes a radiation source, an optical system, and a detector. The radiation source generates a beam of radiation. The optical system directs the beam along an optical axis and toward a target so as to produce scattered radiation from the target. The optical system includes a beam displacer including four reflective surfaces having a spatial arrangement. The beam displacer receives the beam along the optical axis, performs reflections of the beam so as to displace the optical axis of the beam, rotates to shift the displaced optical axis, and preserves polarization of the beam such that a polarization state of the beam along the deflected optical axis is invariant to the rotating based on the spatial arrangement of the four reflective surfaces. The detector receives the scattered radiation to generate a measurement signal based on the received scattered radiation. Un appareil d'inspection comprend une source de rayonnement, un système optique et un détecteur. La source de rayonnement génère un faisceau de rayonnement. Le système optique dirige le faisceau le long d'un axe optique et vers une cible de façon à produire un rayonnement diffusé à partir de la cible. Le système optique comprend un dispositif de déplacement de faisceau comprenant quatre surfaces réfléchissantes ayant un agencement spatial. Le dispositif de déplacement de faisceau reçoit le faisceau le long de l'axe optique, effectue des réflexions du faisceau de manière à déplacer l'axe optique du faisceau, tourne pour décaler l'axe optique déplacé, et conserve la polarisation du faisceau de telle sorte qu'un état de polarisation du faisceau le long de l'axe optique dévié est invariant à la rotation sur la base de l'agencement spatial des quatre surfaces réfléchissantes. Le détecteur reçoit le rayonnement diffusé pour générer un signal de mesure sur la base du rayonnement diffusé reçu.