EUV TRANSMISSIVE FILM

Provided is an EUV transmissive film exhibiting not only EUV transmittance but also high IR emissivity. This EUV transmissive film has an EUV transmittance of at least 80% at a wavelength of 13.5nm, and comprises a main layer that has an IR emissivity of at least 2.0% at a wavelength of 2μm, and a protective layer that covers at least one side of the main layer and has an IR transmittance of at least 70% at a wavelength of 2μm. L'invention concerne un film transmettant les rayons EUV qui est non seulement doté de transmittance des rayons EUV mais également d'une émissivité IR élevée. Ce film transmettant les rayons EUV présente une transmittance des rayons EUV d'au moins 80 % à une longueur d'onde de 13,5 nm, et il comprend une couche principale qui a une émissivité IR d'au moins 2,0 % à une longueur d'onde de 2 µm, et une couche de protection qui recouvre au moins un côté de la couche principale et qui a une transmittance IR d'au moins 70 % à une longueur d'onde de 2 µm. ＥＵＶ透過率のみならずＩＲ放射率も高いＥＵＶ透過膜が提供される。このＥＵＶ透過膜は、波長１３．５ｎｍにおけるＥＵＶ透過率が８０．０％以上のＥＵＶ透過膜であって、波長２μｍにおけるＩＲ放射率が２．０％以上の主層と、主層の少なくとも片面を覆う、波長２μｍにおけるＩＲ透過率が７０％以上の保護層とを備える。