SUBSTRATE CLAMPING METHOD, WORK APPARATUS, AND WORK SYSTEM

A substrate clamping method of the present disclosure is used for a substrate transport apparatus comprising a substrate sensing sensor for sensing a substrate, wherein, when a work apparatus returns from an operation shut-down state: if the substrate sensing sensor is in a sensing state at the time of return, the substrate is transported in a first direction until a non-sensing state is reached, and the substrate is transported in a second direction to a clamping position on the basis of the substrate sensing sensor having changed from the sensing state to the non-sensing state; if the substrate sensing sensor is in the non-sensing state at the time of return, the substrate is transported in the first direction until the state changes to the sensing state, and the substrate is transported in the second direction to the clamping position on the basis of the substrate sensing sensor having changed from the non-sensing state to the sensing state. When the substrate sensing sensor is in the sensing state at the time of return, or when the substrate sensing sensor is in the non-sensing state at the time of return and when the substrate sensing sensor thereafter has changed to the sensing state, a movable member is moved to a waiting position and waits. Once the substrate is transported to the clamping position, the movable member is contacted with the substrate and pressed against a fixed member. Un procédé de serrage de substrat selon la présente divulgation est utilisé pour un appareil de transport de substrat comprenant un capteur de détection de substrat pour détecter un substrat, dans lequel, lorsqu'un appareil de travail revient d'un état d'arrêt d'opération : si le capteur de détection de substrat est dans un état de détection au moment du retour, le substrat est transporté dans une première direction jusqu'à ce qu'un état de non-détection soit atteint, et le substrat est transporté dans une seconde direction vers une position de serrage sur la base du capteur de détection de substrat ayant changé de l'état de détection à l'état de non-détection ; si le capteur de détection de substrat est dans l'état de non-détection au moment du retour, le substrat est transporté dans la première direction jusqu'à ce que l'état change à l'état de détection, et le substrat est transporté dans la seconde direction vers la position de serrage sur la base du capteur de détection de substrat ayant changé de l'état de non-détection à l'état de détection. Lorsque le capteur