COMPACT LOW ANGLE ION BEAM EXTRACTION ASSEMBLY AND PROCESSING APPARATUS

An extraction assembly may include an extraction plate for placement along a side of a plasma chamber, and having an extraction aperture, elongated along a first direction, and having an aperture height, extending along a second direction, perpendicular to the first direction. The extraction plate defines an inner surface along the extraction aperture, lying in a first plane. A beam blocker is disposed over the extraction aperture, and has an outer surface, disposed in a second plane, different than the first plane. As such,the beam blocker overlaps with the extraction plate along a first edge of the extraction aperture by a first overlap distance, and overlaps with the extraction plate along a second edge of the extraction aperture by a second overlap distance, so as to define a first extraction slit, along the first edge, and a second extraction slit along the second edge. Un ensemble d'extraction peut comprendre une plaque d'extraction destinée à être placée le long d'un côté d'une chambre à plasma, comportant une ouverture d'extraction, allongée le long d'une première direction, et ayant une hauteur d'ouverture, s'étendant le long d'une seconde direction, perpendiculaire à la première direction. La plaque d'extraction définit une surface intérieure le long de l'ouverture d'extraction, se trouvant dans un premier plan. Un bloqueur de faisceau est disposé au-dessus de l'ouverture d'extraction, et comprend une surface externe, disposée dans un second plan, différent du premier plan. En tant que tel, le bloqueur de faisceau chevauche la plaque d'extraction le long d'un premier bord de l'ouverture d'extraction par une première distance de chevauchement, et chevauche la plaque d'extraction le long d'un second bord de l'ouverture d'extraction par une seconde distance de chevauchement, de manière à définir une première fente d'extraction, le long du premier bord, et une seconde fente d'extraction le long du second bord.