SYSTEMS AND METHODS OF CREATING MULTIPLE ELECTRON BEAMS

An electron-beam device includes upper-column electron optics and lower-column electron optics. The upper-column electron optics include an aperture array to divide an electron beam into a plurality of electron beamlets. The upper-column electron optics also include a lens array with a plurality of lenses to adjust the focus of the plurality of electron beamlets. Respective lenses of the plurality of lenses are to adjust the focus of respective electron beamlets of the plurality of electron beamlets. The upper-column electron optics further include a first global lens to adjust the focus of the plurality of electron beamlets in a manner opposite to the lens array La présente invention concerne un dispositif à faisceau d'électrons comprenant une optique électronique de colonne supérieure et une optique électronique de colonne inférieure. L'optique électronique de colonne supérieure comprend un réseau d'ouvertures pour diviser un faisceau d'électrons en une pluralité de petits faisceaux d'électrons. L'optique électronique de colonne supérieure comprend également un réseau de lentilles avec une pluralité de lentilles pour ajuster le foyer de la pluralité de petits faisceaux d'électrons. Des lentilles respectives de la pluralité de lentilles sont destinées à régler la focalisation de petits faisceaux d'électrons respectifs de la pluralité de petits faisceaux d'électrons. L'optique électronique de colonne supérieure comprend en outre une première lentille globale pour ajuster le foyer de la pluralité de petits faisceaux d'électrons d'une manière opposée à la matrice de lentilles.