ULTRAPURE WATER PRODUCTION SYSTEM AND ULTRAPURE WATER PRODUCTION METHOD

This ultrapure water production system comprises: a filtration device provided with a filter through which passes water being treated flowing in a main flow path; a reverse osmosis membrane device provided with a reverse osmosis membrane, the reverse osmosis membrane device being positioned downstream from the filtration device in the flow direction of the water being treated; a first injection part for injecting a slime control agent into the main flow path at a portion upstream from the filtration device in the flow direction of the water being treated; and a second injection part for injecting a scale prevention agent into the main flow path at a portion downstream from the filtration device and upstream from the reverse osmosis membrane device in the flow direction of the water being treated. L'invention concerne un système de production d'eau ultrapure qui comprend : un dispositif de filtration pourvu d'un filtre à travers lequel passe de l'eau traitée s'écoulant dans un chemin d'écoulement principal ; un dispositif à membrane d'osmose inverse pourvu d'une membrane d'osmose inverse, le dispositif à membrane d'osmose inverse étant positionné en aval du dispositif de filtration dans la direction d'écoulement de l'eau traitée ; une première partie d'injection pour injecter un agent de régulation de boue dans le chemin d'écoulement principal au niveau d'une partie en amont du dispositif de filtration dans la direction d'écoulement de l'eau traitée ; et une seconde partie d'injection pour injecter un agent de prévention de tartre dans le chemin d'écoulement principal au niveau d'une partie en aval du dispositif de filtration et en amont du dispositif à membrane d'osmose inverse dans la direction d'écoulement de l'eau traitée. 超純水製造システムは、主流路を流れる被処理水が透過するフィルターが設けられたろ過装置と、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の下流側に配置され、逆浸透膜が設けられた逆浸透膜装置と、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の上流部分の前記主流路にスライムコントロール剤を注入する第一注入部と、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の下流部分で、かつ、前記逆浸透膜装置の上流部分の前記主流路にスケール防止剤を注入する第二注入部と、を備える。