OPTICAL SYSTEM FOR SHAPE MEASURING DEVICE

This optical system for a shape measuring device comprises a parallel light irradiation system and an imaging optical system. The parallel light irradiation system includes: a point light source; a collimator lens; and a telecentric lens having a telecentric structure on both sides or the object sid...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: FURUTA, Yohei, NISHIYAMA, Kohei, KAWARADA, Takao
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:This optical system for a shape measuring device comprises a parallel light irradiation system and an imaging optical system. The parallel light irradiation system includes: a point light source; a collimator lens; and a telecentric lens having a telecentric structure on both sides or the object side, the telecentric lens being irradiated with light from the collimator lens across an object to be measured. The imaging optical system includes an image sensor onto which an image of a portion of the object to be measured by light that has passed through the telecentric lens is projected. The point light source includes: an LED; a diffusion member that diffuses and emits light from the LED; and a pinhole member in which is formed a pinhole on which light from the diffusion member is incident. L'invention concerne un système optique pour un dispositif de mesure de forme comprenant un système d'irradiation de lumière parallèle et un système optique d'imagerie. Le système d'irradiation de lumière parallèle comprend : une source de lumière ponctuelle ; une lentille de collimateur ; et une lentille télécentrique présentant une structure télécentrique sur les deux côtés ou le côté objet, la lentille télécentrique étant irradiée avec de la lumière provenant de la lentille de collimateur à travers un objet à mesurer. Le système optique d'imagerie comprend un capteur d'image sur lequel une image d'une partie de l'objet à mesurer par la lumière qui a traversé la lentille télécentrique est projetée. La source de lumière ponctuelle comprend : une DEL ; un élément de diffusion qui diffuse et émet de la lumière à partir de la DEL ; et un élément de trou d'épingle dans lequel est formé un trou d'épingle sur lequel la lumière provenant de l'élément de diffusion est incidente. 本発明の形状計測装置用光学系は、平行光照射系と、撮像光学系とを備え、前記平行光照射系は、点光源と、コリメータレンズと、前記コリメータレンズからの光が被測定物体越しに照射される、両側または物体側テレセントリック構造のテレセントリックレンズとを備え、前記撮像光学系は、前記テレセントリックレンズを通過した光による前記被測定物体の一部分の影像が投影されるイメージセンサを備え、前記点光源は、LEDと、前記LEDからの光を拡散して射出する拡散部材と、前記拡散部材からの光が入射されるピンホールを形成したピンホール部材とを備える。