TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP

Turbomolecular vacuum pump (1) comprising at least one heating rod (20) having at least one holding part (20a) and a heating part (20b) utilizing the Joule effect when the heating rod (20) is electrically powered, the holding part (20a) forming a sheath for the electrical supply wires to the heating...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ROGER, François, CAVAREC, Pierre-Emmanuel, DULAC, Eric, CRIADO, Romain, NEEL, Thierry
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Turbomolecular vacuum pump (1) comprising at least one heating rod (20) having at least one holding part (20a) and a heating part (20b) utilizing the Joule effect when the heating rod (20) is electrically powered, the holding part (20a) forming a sheath for the electrical supply wires to the heating part (20b), at least one connection duct (21) being at least partially arranged in a high-pressure stator (19) of the vacuum pump (1) for the passage of the holding part (20a), the heating part (20b) being received along at least one helical groove (14) of the high-pressure stator (19). Pompe à vide turbomoléculaire (1) comprenant au moins une tige de chauffage (20) comportant au moins une partie de retenue (20a) et une partie de chauffage (20b) à l'aide de l'effet Joule lorsque la tige de chauffage (20) est alimentée électriquement ; la partie de retenue (20a) forme une gaine pour les fils d'alimentation électrique vers la partie de chauffage (20b) ; au moins un conduit de liaison (21) est disposé au moins partiellement dans un stator haute pression (19) de la pompe à vide (1) afin de permettre le passage de la partie de retenue (20a) ; et la partie de chauffage (20b) est reçue le long d'au moins une rainure hélicoïdale (14) du stator haute pression (19).