TRANSMISSION CORRECTED PLASMA EMISSION USING IN-SITU OPTICAL REFLECTOMETRY

Implementations disclosed describe a system including a light source, an optical sensor, and a processing device. The light source directs, during a first time, a probe light into a processing chamber through a window. The light source ceases, during a second time, directing the probe light into the processing chamber through the window. The optical sensor detects, during the first time, a first intensity of a first light. The first light includes a portion of the probe light reflected from the window and a light transmitted from an environment of the processing chamber through the window. The optical sensor detects, during the second time, a second intensity of a second light. The second light includes the light transmitted from the environment of the processing chamber through the window. The processing device determines, using the first intensity and the second intensity, a transmission coefficient of the window. Des modes de réalisation de l'invention concernent un système comprenant une source de lumière, un capteur optique et un dispositif de traitement. La source de lumière dirige, pendant une première période, une lumière de sonde dans une chambre de traitement à travers une fenêtre. La source de lumière cesse, pendant une seconde période, de diriger la lumière de sonde dans la chambre de traitement à travers la fenêtre. Le capteur optique détecte, pendant la première période, une première intensité d'une première lumière. La première lumière comprend une partie de la lumière de sonde réfléchie par la fenêtre et une lumière transmise depuis un environnement de la chambre de traitement à travers la fenêtre. Le capteur optique détecte, pendant la seconde période, une seconde intensité d'une seconde lumière. La seconde lumière comprend la lumière transmise depuis l'environnement de la chambre de traitement à travers la fenêtre. Le dispositif de traitement détermine, à l'aide de la première intensité et de la seconde intensité, un coefficient de transmission de la fenêtre.