METROLOGY ENCLOSURE INCLUDING SPECTRAL REFLECTOMETRY SYSTEM FOR PLASMA PROCESSING SYSTEM USING DIRECT-DRIVE RADIOFREQUENCY POWER SUPPLY

A plasma processing chamber has an upper window with a coil disposed above the upper window. A coil connection enclosure is disposed above the coil. A metrology enclosure is disposed above the coil connection enclosure. A spectral reflectometry system is disposed within the metrology enclosure. The spectral reflectometry system includes an optical collimator positioned to direct a beam of light through an opening in the metrology enclosure, an opening in the coil connection enclosure, and the upper window into the plasma processing chamber. The optical collimator is also configured to receive reflected light from within the plasma processing chamber, where the reflected light passes through the upper window and through the opening in the coil connection enclosure and through the opening in the metrology enclosure. A tip angle and a tilt angle of the optical collimator are remotely adjusted to optimize an orientation of the optical collimator. La présente divulgation concerne une chambre de traitement au plasma qui a une fenêtre supérieure avec une bobine disposée au-dessus de la fenêtre supérieure. Une enceinte de connexion de bobine est disposée au-dessus de la bobine. Une enceinte de métrologie est disposée au-dessus de l'enceinte de connexion de bobine. Un système de réflectométrie spectrale est disposé à l'intérieur de l'enceinte de métrologie. Le système de réflectométrie spectrale comprend un collimateur optique positionné pour diriger un faisceau de lumière à travers une ouverture dans l'enceinte de métrologie, une ouverture dans l'enceinte de connexion de bobine, et la fenêtre supérieure dans la chambre de traitement au plasma. Le collimateur optique est également conçu pour recevoir la lumière réfléchie depuis l'intérieur de la chambre de traitement au plasma, la lumière réfléchie traversant la fenêtre supérieure et traversant l'ouverture dans l'enceinte de connexion de bobine et traversant l'ouverture dans l'enceinte de métrologie. Un angle de pointe et un angle d'inclinaison du collimateur optique sont ajustés à distance pour optimiser une orientation du collimateur optique.