ENERGY EFFICIENCY IMPROVEMENT WITH CONTINUOUS FLOW MODULATION IN CLUSTER TOOL

A substrate processing system that includes a multi-station processing chamber that includes a plurality of process stations is provided. Each process station has one or more processing components cooled by a cooling system. In one embodiment, the cooling system includes a closed loop monitoring system comprising a flow control valve fluidly coupled to a coolant supply line, a valve position measuring system for continuously monitoring the position of the valve, and a valve position controller for adjusting the position of the valve. La présente invention concerne un système de traitement de substrat qui comporte une chambre de traitement multi-station qui comporte une pluralité de stations de traitement. Chaque station de traitement présente un ou plusieurs composants de traitement refroidis par un système de refroidissement. Dans un mode de réalisation, le système de refroidissement comporte un système de surveillance en boucle fermée comprenant une soupape de régulation de débit accouplée de manière fluidique à une conduite d'alimentation en agent de refroidissement, un système de mesure de position de soupape destiné à surveiller en continu la position de la soupape et un dispositif de commande de position de soupape destiné à régler la position de la soupape.