PIEZOELECTRIC DEVICE

The present invention is a piezoelectric device (100), comprising: a substrate (1) which is provided with a cavity (4); a piezoelectric film (3) which covers the cavity (4) and is supported on the substrate (1); and electrodes (5a, 5b) which are disposed sandwiching the piezoelectric film (3). The p...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KUCHIJI, Hiroyuki, MASUMOTO, Naoki, KIKUCHI, Toshikatsu
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; jpn
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
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creator	KUCHIJI, Hiroyuki MASUMOTO, Naoki KIKUCHI, Toshikatsu
description	The present invention is a piezoelectric device (100), comprising: a substrate (1) which is provided with a cavity (4); a piezoelectric film (3) which covers the cavity (4) and is supported on the substrate (1); and electrodes (5a, 5b) which are disposed sandwiching the piezoelectric film (3). The piezoelectric film (3) has a convex or concave vibrating region (6) disposed to the cavity (4). The vibrating region (6) is configured by a single-layer piezoelectric film including: a piezoelectric film (3a) of a first region configured by a first piezoelectric body; and a piezoelectric film (3b) of a second region configured by a second piezoelectric body which has a piezoelectric constant greater than the piezoelectric constant of the first piezoelectric body. The present invention provides a high-output, high-sensitivity piezoelectric device, comprising a convex vibrating region in which the first electrode (5a) and the second electrode (5b) are disposed sandwiching the piezoelectric film of the second region, and a first input signal is converted into a first output signal by displacement of the piezoelectric film (3b) of the second region between said electrodes. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique (100), comprenant : un substrat (1) qui est pourvu d'une cavité (4) ; un film piézoélectrique (3) qui couvre la cavité (4) et est supporté sur le substrat (1) ; et des électrodes (5a, 5b) qui sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique (3). Le film piézoélectrique (3) a une région vibrante convexe ou concave (6) disposée dans la cavité (4). La région vibrante (6) est configurée par un film piézoélectrique monocouche comprenant : un film piézoélectrique (3a) d'une première région configurée par un premier corps piézoélectrique ; et un film piézoélectrique (3b) d'une seconde région configurée par un second corps piézoélectrique qui a une constante piézoélectrique supérieure à la constante piézoélectrique du premier corps piézoélectrique. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique à haut rendement et à haute sensibilité, comprenant une région vibrante convexe dans laquelle la première électrode (5a) et la seconde électrode (5b) sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique de la seconde région, et un premier signal d'entrée est converti en un premier signal de sortie par déplacement du film piézoélectrique (3b) de la seconde région entre lesdites électrodes. キャビティ（４）を備えた基板（１）と、キャビティ（４）を覆い基板
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The piezoelectric film (3) has a convex or concave vibrating region (6) disposed to the cavity (4). The vibrating region (6) is configured by a single-layer piezoelectric film including: a piezoelectric film (3a) of a first region configured by a first piezoelectric body; and a piezoelectric film (3b) of a second region configured by a second piezoelectric body which has a piezoelectric constant greater than the piezoelectric constant of the first piezoelectric body. The present invention provides a high-output, high-sensitivity piezoelectric device, comprising a convex vibrating region in which the first electrode (5a) and the second electrode (5b) are disposed sandwiching the piezoelectric film of the second region, and a first input signal is converted into a first output signal by displacement of the piezoelectric film (3b) of the second region between said electrodes. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique (100), comprenant : un substrat (1) qui est pourvu d'une cavité (4) ; un film piézoélectrique (3) qui couvre la cavité (4) et est supporté sur le substrat (1) ; et des électrodes (5a, 5b) qui sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique (3). Le film piézoélectrique (3) a une région vibrante convexe ou concave (6) disposée dans la cavité (4). La région vibrante (6) est configurée par un film piézoélectrique monocouche comprenant : un film piézoélectrique (3a) d'une première région configurée par un premier corps piézoélectrique ; et un film piézoélectrique (3b) d'une seconde région configurée par un second corps piézoélectrique qui a une constante piézoélectrique supérieure à la constante piézoélectrique du premier corps piézoélectrique. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique à haut rendement et à haute sensibilité, comprenant une région vibrante convexe dans laquelle la première électrode (5a) et la seconde électrode (5b) sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique de la seconde région, et un premier signal d'entrée est converti en un premier signal de sortie par déplacement du film piézoélectrique (3b) de la seconde région entre lesdites électrodes. キャビティ（４）を備えた基板（１）と、キャビティ（４）を覆い基板（１）に支持された圧電体膜（３）と、圧電体膜（３）を挟んで配置された電極（５ａ、５ｂ）とを備える圧電体デバイス（１００）。圧電体膜（３）は、キャビティ（４）上に配置されている凸状あるいは凹状の振動領域（６）を有する。振動領域（６）は、第１の圧電体で構成されている第１の領域の圧電体膜（３ａ）と、第１の圧電体の圧電定数より大きい圧電定数を有する第２の圧電体で構成されている第２の領域の圧電体膜（３ｂ）とを含む単層の圧電体膜で構成されている。第２の領域の圧電体膜を挟んで第１の電極（５ａ）と第２の電極（５ｂ）が配置され、この電極間の第２の領域の圧電体膜（３ｂ）の変位から第１の入力信号が第１の出力信号に変換され、凸状の振動領域を備えた高出力、高感度の圧電体デバイスが提供される。</description><language>eng ; fre ; jpn</language><subject>DEAF-AID SETS ; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ; ELECTRICITY ; LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS ; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS</subject><creationdate>2023</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20230323&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2023042754A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25543,76294</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20230323&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2023042754A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>KUCHIJI, Hiroyuki</creatorcontrib><creatorcontrib>MASUMOTO, Naoki</creatorcontrib><creatorcontrib>KIKUCHI, Toshikatsu</creatorcontrib><title>PIEZOELECTRIC DEVICE</title><description>The present invention is a piezoelectric device (100), comprising: a substrate (1) which is provided with a cavity (4); a piezoelectric film (3) which covers the cavity (4) and is supported on the substrate (1); and electrodes (5a, 5b) which are disposed sandwiching the piezoelectric film (3). The piezoelectric film (3) has a convex or concave vibrating region (6) disposed to the cavity (4). The vibrating region (6) is configured by a single-layer piezoelectric film including: a piezoelectric film (3a) of a first region configured by a first piezoelectric body; and a piezoelectric film (3b) of a second region configured by a second piezoelectric body which has a piezoelectric constant greater than the piezoelectric constant of the first piezoelectric body. The present invention provides a high-output, high-sensitivity piezoelectric device, comprising a convex vibrating region in which the first electrode (5a) and the second electrode (5b) are disposed sandwiching the piezoelectric film of the second region, and a first input signal is converted into a first output signal by displacement of the piezoelectric film (3b) of the second region between said electrodes. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique (100), comprenant : un substrat (1) qui est pourvu d'une cavité (4) ; un film piézoélectrique (3) qui couvre la cavité (4) et est supporté sur le substrat (1) ; et des électrodes (5a, 5b) qui sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique (3). Le film piézoélectrique (3) a une région vibrante convexe ou concave (6) disposée dans la cavité (4). La région vibrante (6) est configurée par un film piézoélectrique monocouche comprenant : un film piézoélectrique (3a) d'une première région configurée par un premier corps piézoélectrique ; et un film piézoélectrique (3b) d'une seconde région configurée par un second corps piézoélectrique qui a une constante piézoélectrique supérieure à la constante piézoélectrique du premier corps piézoélectrique. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique à haut rendement et à haute sensibilité, comprenant une région vibrante convexe dans laquelle la première électrode (5a) et la seconde électrode (5b) sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique de la seconde région, et un premier signal d'entrée est converti en un premier signal de sortie par déplacement du film piézoélectrique (3b) de la seconde région entre lesdites électrodes. キャビティ（４）を備えた基板（１）と、キャビティ（４）を覆い基板（１）に支持された圧電体膜（３）と、圧電体膜（３）を挟んで配置された電極（５ａ、５ｂ）とを備える圧電体デバイス（１００）。圧電体膜（３）は、キャビティ（４）上に配置されている凸状あるいは凹状の振動領域（６）を有する。振動領域（６）は、第１の圧電体で構成されている第１の領域の圧電体膜（３ａ）と、第１の圧電体の圧電定数より大きい圧電定数を有する第２の圧電体で構成されている第２の領域の圧電体膜（３ｂ）とを含む単層の圧電体膜で構成されている。第２の領域の圧電体膜を挟んで第１の電極（５ａ）と第２の電極（５ｂ）が配置され、この電極間の第２の領域の圧電体膜（３ｂ）の変位から第１の入力信号が第１の出力信号に変換され、凸状の振動領域を備えた高出力、高感度の圧電体デバイスが提供される。</description><subject>DEAF-AID SETS</subject><subject>ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS</subject><subject>PUBLIC ADDRESS SYSTEMS</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2023</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZBAJ8HSN8nf1cXUOCfJ0VnBxDfN0duVhYE1LzClO5YXS3AzKbq4hzh66qQX58anFBYnJqXmpJfHh_kYGRsYGJkbmpiaOhsbEqQIA9u8fhw</recordid><startdate>20230323</startdate><enddate>20230323</enddate><creator>KUCHIJI, Hiroyuki</creator><creator>MASUMOTO, Naoki</creator><creator>KIKUCHI, Toshikatsu</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20230323</creationdate><title>PIEZOELECTRIC DEVICE</title><author>KUCHIJI, Hiroyuki ; MASUMOTO, Naoki ; KIKUCHI, Toshikatsu</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2023042754A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; jpn</language><creationdate>2023</creationdate><topic>DEAF-AID SETS</topic><topic>ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS</topic><topic>PUBLIC ADDRESS SYSTEMS</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>KUCHIJI, Hiroyuki</creatorcontrib><creatorcontrib>MASUMOTO, Naoki</creatorcontrib><creatorcontrib>KIKUCHI, Toshikatsu</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>KUCHIJI, Hiroyuki</au><au>MASUMOTO, Naoki</au><au>KIKUCHI, Toshikatsu</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>PIEZOELECTRIC DEVICE</title><date>2023-03-23</date><risdate>2023</risdate><abstract>The present invention is a piezoelectric device (100), comprising: a substrate (1) which is provided with a cavity (4); a piezoelectric film (3) which covers the cavity (4) and is supported on the substrate (1); and electrodes (5a, 5b) which are disposed sandwiching the piezoelectric film (3). The piezoelectric film (3) has a convex or concave vibrating region (6) disposed to the cavity (4). The vibrating region (6) is configured by a single-layer piezoelectric film including: a piezoelectric film (3a) of a first region configured by a first piezoelectric body; and a piezoelectric film (3b) of a second region configured by a second piezoelectric body which has a piezoelectric constant greater than the piezoelectric constant of the first piezoelectric body. The present invention provides a high-output, high-sensitivity piezoelectric device, comprising a convex vibrating region in which the first electrode (5a) and the second electrode (5b) are disposed sandwiching the piezoelectric film of the second region, and a first input signal is converted into a first output signal by displacement of the piezoelectric film (3b) of the second region between said electrodes. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique (100), comprenant : un substrat (1) qui est pourvu d'une cavité (4) ; un film piézoélectrique (3) qui couvre la cavité (4) et est supporté sur le substrat (1) ; et des électrodes (5a, 5b) qui sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique (3). Le film piézoélectrique (3) a une région vibrante convexe ou concave (6) disposée dans la cavité (4). La région vibrante (6) est configurée par un film piézoélectrique monocouche comprenant : un film piézoélectrique (3a) d'une première région configurée par un premier corps piézoélectrique ; et un film piézoélectrique (3b) d'une seconde région configurée par un second corps piézoélectrique qui a une constante piézoélectrique supérieure à la constante piézoélectrique du premier corps piézoélectrique. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique à haut rendement et à haute sensibilité, comprenant une région vibrante convexe dans laquelle la première électrode (5a) et la seconde électrode (5b) sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique de la seconde région, et un premier signal d'entrée est converti en un premier signal de sortie par déplacement du film piézoélectrique (3b) de la seconde région entre lesdites électrodes. キャビティ（４）を備えた基板（１）と、キャビティ（４）を覆い基板（１）に支持された圧電体膜（３）と、圧電体膜（３）を挟んで配置された電極（５ａ、５ｂ）とを備える圧電体デバイス（１００）。圧電体膜（３）は、キャビティ（４）上に配置されている凸状あるいは凹状の振動領域（６）を有する。振動領域（６）は、第１の圧電体で構成されている第１の領域の圧電体膜（３ａ）と、第１の圧電体の圧電定数より大きい圧電定数を有する第２の圧電体で構成されている第２の領域の圧電体膜（３ｂ）とを含む単層の圧電体膜で構成されている。第２の領域の圧電体膜を挟んで第１の電極（５ａ）と第２の電極（５ｂ）が配置され、この電極間の第２の領域の圧電体膜（３ｂ）の変位から第１の入力信号が第１の出力信号に変換され、凸状の振動領域を備えた高出力、高感度の圧電体デバイスが提供される。</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
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