PIEZOELECTRIC DEVICE

The present invention is a piezoelectric device (100), comprising: a substrate (1) which is provided with a cavity (4); a piezoelectric film (3) which covers the cavity (4) and is supported on the substrate (1); and electrodes (5a, 5b) which are disposed sandwiching the piezoelectric film (3). The p...

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Hauptverfasser: KUCHIJI, Hiroyuki, MASUMOTO, Naoki, KIKUCHI, Toshikatsu
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention is a piezoelectric device (100), comprising: a substrate (1) which is provided with a cavity (4); a piezoelectric film (3) which covers the cavity (4) and is supported on the substrate (1); and electrodes (5a, 5b) which are disposed sandwiching the piezoelectric film (3). The piezoelectric film (3) has a convex or concave vibrating region (6) disposed to the cavity (4). The vibrating region (6) is configured by a single-layer piezoelectric film including: a piezoelectric film (3a) of a first region configured by a first piezoelectric body; and a piezoelectric film (3b) of a second region configured by a second piezoelectric body which has a piezoelectric constant greater than the piezoelectric constant of the first piezoelectric body. The present invention provides a high-output, high-sensitivity piezoelectric device, comprising a convex vibrating region in which the first electrode (5a) and the second electrode (5b) are disposed sandwiching the piezoelectric film of the second region, and a first input signal is converted into a first output signal by displacement of the piezoelectric film (3b) of the second region between said electrodes. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique (100), comprenant : un substrat (1) qui est pourvu d'une cavité (4) ; un film piézoélectrique (3) qui couvre la cavité (4) et est supporté sur le substrat (1) ; et des électrodes (5a, 5b) qui sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique (3). Le film piézoélectrique (3) a une région vibrante convexe ou concave (6) disposée dans la cavité (4). La région vibrante (6) est configurée par un film piézoélectrique monocouche comprenant : un film piézoélectrique (3a) d'une première région configurée par un premier corps piézoélectrique ; et un film piézoélectrique (3b) d'une seconde région configurée par un second corps piézoélectrique qui a une constante piézoélectrique supérieure à la constante piézoélectrique du premier corps piézoélectrique. La présente invention concerne un dispositif piézoélectrique à haut rendement et à haute sensibilité, comprenant une région vibrante convexe dans laquelle la première électrode (5a) et la seconde électrode (5b) sont disposées en prenant en sandwich le film piézoélectrique de la seconde région, et un premier signal d'entrée est converti en un premier signal de sortie par déplacement du film piézoélectrique (3b) de la seconde région entre lesdites électrodes. キャビティ(4)を備えた基板(1)と、キャビティ(4)を覆い基板